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真空紫外·软x线领域层状衍射光栅
岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法，加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示，是矩形形状，是在合成石英的基底上直接刻线加工而成，特别适合斜入射光源的要求。
产品介绍
放射光光束设施
概念图
图2 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图
检测例
图3 氩吸收光谱测量示例
镀膜材质
图4 镀膜材料与反射率的关系
*理想平面镜的模拟结果（非保证值），膜厚为 30nm，入射角为 88°，表面粗糙度为 0。
